ＨＯＭＥ

設備一覧

X線光電子分析装置
（極表面における元素分析、状態分析）
日本電子　XPS-9010MC

オージェ分光分析装置
（極表面における元素分析、状態分析）
日本電子　AP-9500F

走査型電子顕微鏡/EPMA
（表面形態観察および元素分布マッピング）
日立　S-3400N/堀場EMAX350

原子間力顕微鏡
（表面のナノ凹凸観察）
SII　Nanonavi＋SPA300

走査型レーザー顕微鏡
（表面段差計測）
オリンパス　OLS-1100